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DH-500ZZS 高真空 电子束蒸发镀膜机

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DH-500ZZS 高真空 电子束蒸发镀膜机

详细介绍

DH-500ZZS  高真空 电子束蒸发镀膜机采用前开门式框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。6-10KW e型电子枪可选国产,可选配 离子束清洗及辅助镀膜功能。

该设备 广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基 底表面制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。

    主要特点:

 前开门真空腔体,方便取放基片、添加蒸 发材料以及真空室的日常维护;

1200L/s分子泵作为主抽泵,真空极限高达5×10-5Pa(3.75×10-7Torr);另可选 进口磁悬浮分子泵或者低温泵作为主抽泵,真空极限高达3×10-6Pa(2×10-8Torr);

配6~10KW e型电子枪,4-8穴坩埚可选;  

最大180mm基片/15~25mm ITO/FTO玻璃30片/拱形或半球形样品架;

基片台公转,转速0~25rpm连续可调;平板基 底衬底可选择加热或水冷;

更优的 薄膜均匀性和重复性,采用进 口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;  

可沉积金属(Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等)、化合物(ITO等)及有机物材料(进口电子枪);

 

主要技术指标:

 

型号

DH-500ZZS

真空室

Φ500×H550mm;前开门、后置抽气系统

304不锈钢真空室,内、外表面电解抛光处理;

真空系统

复合分子泵+合资机械泵;

FF200/1200复合分子泵+8L/S机械泵

极限真空

优于6.7×10-5Pa(6×10-7Torr)(经烘烤除气后)

恢复真空

达到5×10-4Pa≤45min;(短时间暴露大气,并充入 干燥氮气开始抽气)

真空测量

“两低一高” 数显复合真空计,两只电 阻规分别测量前级及真空室低真空,

一只电 离规测量真空室高真空,测量范围从1×105Pa 到1×10-5Pa;

电子束蒸发源

阳极电压

6KV  10KV,带有XY偏转扫描;

坩埚

水冷式坩埚,4穴 环形,12cc;

功率

O-10kW可调;

热蒸发源

2组热蒸发源,1~2台蒸发电源可选;(标配1台)

2KW,精度0.1A;专业真空蒸发电源,恒流/恒功率控制。

基片台

180mm方形基片或15~25mm ITO/FTO玻璃30片/拱形、球形基片架,可定制 一体化高精度刻蚀掩膜板;基片台可选择加热(室温~300℃可调可控)或水冷

膜厚监控

(进口)

监测厚度范围:0.1A~99u9999A,

工艺气体配置

1~3路工艺气体MFC控制;(标配2路)

离子束清洗

及辅助镀膜

(选配)

离子能量:100~600eV、100~1200eV ;离子束流:100~150 mA;均匀区:Φ100~Φ180mm

电控系统

手动按 钮继电器逻辑控制;或全自动控制,可编程控制器(PLC)

报警及保护

完善的程序互锁,完备的 防误操作设计及保护;系统缺水、过流过 压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

选配

冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源

设备配电

电压:AC380V/50HZ

功率:≤15KW


本文网址:http://www./product/681.html

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